Entdecken Sie unser umfassendes Sortiment an hochwertigen Luftfiltrationslösungen, die für verschiedene Branchen konzipiert wurden.
Von HVAC-Filtern über HEPA-Filter bis hin zu industriellen Anwendungen bieten unsere Luftfilter herausragende Leistung, Energieeffizienz und lang anhaltende Zuverlässigkeit.
Finden Sie den perfekten Filter, der Ihren Anforderungen entspricht.
Clean-Link liefert ULPA-Filter für Reinräume, die Halbleiterfertigung, pharmazeutische Einrichtungen, die Biotechnologie, die Elektronikindustrie, Fan Filter Units (FFUs), Laminar-Flow-Systeme, Filtergehäuse für die Endfiltration sowie weitere kritische Umgebungen, in denen eine extrem hohe Partikelabscheideeffizienz erforderlich ist.
Bei der Auswahl eines ULPA-Filters kommt es auf mehr als nur die Filterklasse an. Filter der Klassen U15, U16 und U17 unterscheiden sich hinsichtlich der geforderten Abscheideeffizienz bei der MPPS (Most Penetrating Particle Size). Darüber hinaus beeinflussen Filtermedium, Faltengeometrie, Luftvolumenstrom, Druckverlust, Filtertiefe, Rahmenkonstruktion, Dichtungsart und Prüfanforderungen die tatsächliche Leistung im System.
Clean-Link unterstützt ULPA-Projekte unter anderem mit Mini-Pleat-Filtern, kundenspezifischen Abmessungen, Aluminiumrahmen, Ausführungen mit Dichtungen oder Gelabdichtungen sowie der Überprüfung von Luftvolumenstrom und Druckverlust. Hinzu kommen die Integration in FFUs, die Fertigung nach Zeichnung und die Berücksichtigung projektspezifischer Prüfanforderungen.
Benötigen Sie einen ULPA-Filter für ein Reinraum- oder FFU-Projekt?
Beginnen Sie mit folgenden Angaben:
Filterklasse + Abmessungen + Luftvolumenstrom + Druckverlust + Dichtungsart + Anwendung
ULPA steht für Ultra-Low Penetration Air.
ULPA-Filter sind hocheffiziente Partikelfilter für Anwendungen, die eine höhere Filtrationsleistung erfordern, als herkömmliche HEPA-Filter bieten.
Nach EN 1822 werden ULPA-Filter in folgende Klassen eingeteilt:
| Filterklasse | Mindest-Gesamtabscheidegrad bei MPPS | Maximale Penetration |
|---|---|---|
| U15 | 99,9995 % | 0,0005 % |
| U16 | 99,99995 % | 0,00005 % |
| U17 | 99,999995 % | 0,000005 % |
Sowohl Camfil als auch AAF veröffentlichen diese Abscheidegrade für U15, U16 und U17 in ihren technischen Unterlagen zu ULPA-Filtern.
Die ULPA-Klassifizierung basiert auf der Abscheideleistung bei der Partikelgröße mit der höchsten Penetration (Most Penetrating Particle Size, MPPS) und nicht auf einer pauschalen Effizienzangabe für eine beliebige Partikelgröße.
MPPS steht für Most Penetrating Particle Size.
Damit wird der Partikelgrößenbereich bezeichnet, in dem ein bestimmter Filter unter den jeweiligen Prüfbedingungen seinen geringsten Abscheidegrad aufweist.
Dies ist wichtig, weil sich der Abscheidegrad eines Filters je nach Partikelgröße verändert.
Statt nur zu fragen:
„Wie viel Prozent der Partikel hält dieser Filter zurück?“
ist aus technischer Sicht die folgende Frage aussagekräftiger:
Bei welcher Partikelgröße, nach welcher Norm und bei welchem Luftvolumenstrom wurde der Filter geprüft?
EN 1822 und ISO 29463 verwenden MPPS-basierte Prüfverfahren für hocheffiziente Filter. Das ist einer der Gründe, warum die Filterklassen U15, U16 und U17 nicht ohne Weiteres mit Klassifizierungen nach MERV oder ISO 16890 verglichen werden sollten.
U15 wird häufig für anspruchsvolle Reinraum- und Prozessumgebungen spezifiziert, in denen eine über H14 hinausgehende Filtrationsleistung erforderlich ist.
Typische Anwendungsbereiche sind unter anderem:
Freudenberg bietet U15-ULPA-Filter mit Aluminiumrahmen sowie Dichtungen oder Silgel-Dichtungen an und veröffentlicht für verschiedene Filtergrößen Angaben zum Luftvolumenstrom und Anfangsdruckverlust.
U16 stellt höhere Anforderungen an den Abscheidegrad bei MPPS als U15 und kommt für Anwendungen mit besonders hohen Anforderungen an die Kontaminationskontrolle infrage.
Typische Einsatzbereiche können sein:
AAF veröffentlicht technische Angaben zu U16-ULPA-Filtern mit ePTFE-Filtermedien für Reinraumanwendungen in der Halbleiterindustrie. Dabei wird die Filterleistung bei MPPS angegeben und der Druckverlust bei einer definierten Anströmgeschwindigkeit bewertet.
U17 stellt nochmals höhere Anforderungen an den Abscheidegrad bei MPPS als U16.
Diese Filterklasse kommt für Anwendungen infrage, bei denen eine außergewöhnlich geringe Partikelpenetration erforderlich ist.
Ein U17-Filter sollte jedoch nicht allein deshalb ausgewählt werden, weil er der höchsten ULPA-Filterklasse entspricht.
Bei der Auswahl einer höheren Filterklasse sollten auch folgende Faktoren berücksichtigt werden:
AAF führt in seinen technischen Spezifikationen ePTFE-ULPA-Filter der Klassen U15, U16 und U17 auf.
ULPA- und HEPA-Filter gehören beide zu den hocheffizienten Partikelfiltern. ULPA-Filterklassen weisen jedoch höhere Abscheidegrade bei MPPS auf.
| Merkmal | HEPA | ULPA |
|---|---|---|
| Typische Filterklassen nach EN 1822 | H13 / H14 | U15 / U16 / U17 |
| Prüfgrundlage | MPPS | MPPS |
| Typische Anwendungen | Reinräume, Pharmaindustrie, Gesundheitswesen, Industrie | Reinräume mit besonders hohen Reinheitsanforderungen, Halbleiterfertigung, kritische Prozessbereiche |
| Druckverlust | Abhängig von der Filterkonstruktion | Bei vergleichbaren Auslegungsbedingungen häufig höher |
| Filterauswahl | Abscheidegrad + Luftvolumenstrom + Strömungswiderstand | Abscheidegrad + Luftvolumenstrom + Strömungswiderstand + besonders strenge Anforderungen an die Kontaminationskontrolle |
Der Filter mit der höchsten Filterklasse ist nicht automatisch die richtige Wahl.
Ein U17-Filter kann unnötig sein, wenn ein Filter der Klasse U15 oder H14 bereits die Projektanforderungen erfüllt.
Die ULPA-Filtration erfordert eine extrem hohe Partikelabscheideeffizienz. Der Abscheidegrad darf jedoch nicht unabhängig vom Strömungswiderstand betrachtet werden.
Der Druckverlust wird durch folgende Faktoren beeinflusst:
Die technischen Unterlagen von AAF zu U15-, U16- und U17-Filtern mit ePTFE-Filtermedien zeigen bei gleicher Anströmgeschwindigkeit unterschiedliche Anfangsdruckverluste je nach Filterklasse. Dies verdeutlicht, warum der Druckverlust stets zusammen mit dem ULPA-Abscheidegrad betrachtet werden muss.
Bei FFU- und Umluftsystemen wirkt sich der Filterwiderstand unmittelbar auf den Betriebspunkt des Ventilators und den Energiebedarf aus.
Der am besten geeignete ULPA-Filter ist nicht zwangsläufig der Filter mit dem höchsten Abscheidegrad. Entscheidend ist, dass er die geforderten Reinheitsanforderungen erfüllt und bei dem erforderlichen Luftvolumenstrom innerhalb der verfügbaren Druckreserve des Systems betrieben werden kann.
Je nach Anwendung und Projektanforderungen können ULPA-Filter mit unterschiedlichen hocheffizienten Filtermedien ausgestattet werden.
Zu den gängigen Optionen gehören beispielsweise:
Camfil bietet für Reinraum-Paneelfilter Glasfaser-, Membran- und Verbundfiltermedien an. AAF verwendet bei ausgewählten ULPA-Produkten der Klassen U15, U16 und U17 ePTFE-Technologie.
Die Wahl des Filtermediums kann folgende Eigenschaften beeinflussen:
Bei Halbleiterprojekten können zudem ein geringes Ausgasungsverhalten oder prozessspezifische Anforderungen an das Filtermedium eine Rolle spielen. Camfil weist ausdrücklich auf ausgasungsarme HEPA- und ULPA-Lösungen für die Halbleiterfertigung hin.
Viele ULPA-Filter sind in Mini-Pleat-Bauweise ausgeführt.
Durch die Mini-Pleat-Konstruktion lässt sich eine große Filtermedienfläche bei vergleichsweise geringer Filtertiefe unterbringen.
Diese Bauweise kann dazu beitragen, folgende Faktoren aufeinander abzustimmen:
Eine Mini-Pleat-Bauweise bedeutet jedoch nicht automatisch einen geringen Strömungswiderstand.
Der tatsächliche Druckverlust hängt von der gesamten Filterkonstruktion ab.
Reinräume zählen zu den wichtigsten Einsatzbereichen der ULPA-Filtration.
Je nach Projekt können ULPA-Filter in folgenden Systemen installiert werden:
Die Reinraum-Paneelfilter von Camfil sind ausdrücklich für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, der Pharmaindustrie und in reinheitskritischen Prozessen vorgesehen. AAF bietet ULPA-Module für die Halbleiterfertigung, die pharmazeutische Produktion, die Biotechnologie und weitere Reinraumsysteme an.
Die Auswahl eines ULPA-Filters sollte auf folgenden Kriterien beruhen:
Die Halbleiterfertigung zählt zu den wichtigsten kommerziellen Einsatzbereichen von ULPA-Filtern.
Mit zunehmend kleineren Strukturgrößen von Halbleiterbauelementen gewinnt die Kontrolle von Mikrokontaminationen immer mehr an Bedeutung.
ULPA-Filter können in folgenden Bereichen eingesetzt werden:
Camfil betont insbesondere die Kontrolle partikulärer und molekularer Verunreinigungen in Halbleiterfabriken. AAF veröffentlicht technische Informationen zu ePTFE-Lösungen der Klassen U15, U16 und U17 für die Waferfertigung.
Bei der Auswahl von Filtern für die Halbleiterfertigung können außerdem folgende Aspekte eine Rolle spielen:
In pharmazeutischen Reinräumen kann abhängig vom Prozess und den regulatorischen Anforderungen eine Endfiltration mit sehr hohem Abscheidegrad erforderlich sein.
ULPA-Filter kommen für ausgewählte kritische Bereiche infrage, in denen die Spezifikationen über die Anforderungen an herkömmliche HEPA-Filter hinausgehen.
Zu den relevanten Faktoren zählen:
AAF und Camfil stellen die HEPA- und ULPA-Filtration als Bestandteil pharmazeutischer Reinraumsysteme und kritischer Prozesssysteme dar.
ULPA-Filter sollten jedoch nicht grundsätzlich als zwingend erforderlich für pharmazeutische Reinräume dargestellt werden. Die tatsächlichen Anforderungen hängen von der jeweiligen Projektspezifikation ab.
Fan Filter Units (FFUs) sind ein wichtiger Einsatzbereich für ULPA-Filter.
Eine FFU besteht aus:
Bei dieser Konfiguration muss der ULPA-Filter auf die verfügbare Ventilatorleistung abgestimmt werden.
Zu den wichtigen Parametern gehören:
AAF setzt HEPA- und ULPA-Filter ausdrücklich in FFU-Systemen für Reinräume in der Mikroelektronik, Pharmaindustrie und Biotechnologie ein.
Passendes Produkt:
ULPA-Filter kommen auch in Reinraum-Deckenmodulen und Filtergehäusen für die Endfiltration zum Einsatz.
Zu den gängigen Einbauvarianten gehören:
Sowohl Camfil als auch AAF bieten Reinraummodule für die Endfiltration an, die für den Einsatz von HEPA- und ULPA-Filtern ausgelegt sind.
Der Filter sollte auf das jeweilige Gehäuse abgestimmt und nicht unabhängig davon ausgewählt werden.
Die Abdichtung ist entscheidend, da Leckluft, die am ULPA-Filter vorbeiströmt, die vorgesehene Filterleistung im eingebauten Zustand beeinträchtigen kann.
Systeme mit Flachdichtung beruhen auf einer kontrollierten Verpressung der Dichtung gegen eine ebene Dichtfläche des Filtergehäuses.
Wichtige Parameter sind:
ULPA-Filter mit Gelabdichtung verfügen über eine umlaufende, mit Gel gefüllte Dichtungsrinne, in die eine passende Messerkante eingreift.
Wichtige Parameter sind:
Freudenberg liefert derzeit U15-ULPA-Filter sowohl mit PU-Dichtungen als auch mit Silgel-Dichtungen.
Formstabile Aluminiumrahmen sind bei ULPA-Anwendungen in Reinräumen weitverbreitet, da sie eine hohe Stabilität bei vergleichsweise geringem Gewicht bieten.
Je nach Projekt kann Clean-Link folgende Ausführungen unterstützen:
Bei der Rahmenauswahl sollten folgende Aspekte berücksichtigt werden:
ULPA-Filter werden häufig in reinraumtypischen Modulabmessungen geliefert. Viele OEM- und Ersatzfilterprojekte erfordern jedoch Sonderabmessungen.
Clean-Link kann folgende projektspezifische Anforderungen berücksichtigen:
Für ein bestehendes System senden Sie bitte folgende Angaben:
Filterfoto + tatsächliche Abmessungen + Filterklasse + Luftvolumenstrom + Dichtungsart
Beim Austausch eines vorhandenen ULPA-Filters reicht es nicht aus, lediglich die Außenabmessungen abzugleichen.
Folgende Punkte sollten überprüft werden:
| Parameter | Was zu prüfen ist |
|---|---|
| Filterklasse | U15 / U16 / U17 |
| Abmessungen | Tatsächliche Länge × Breite × Tiefe |
| Luftvolumenstrom | Nennluftvolumenstrom |
| Druckverlust | Ursprünglicher oder angestrebter Wert |
| Rahmen | Material und Tiefe |
| Dichtung | Dichtung oder Gelabdichtung |
| Filtermedium | Vorhandener oder geforderter Filtermedientyp |
| Gehäuse | FFU, Filtergehäuse für die Endfiltration, Deckenmodul, Prozessgerät |
| Schutzgitter | Erforderlich oder nicht |
| Prüfung | Scanprüfung / Leckageprüfung / Einzelprüfbericht |
| Anwendung | Reinraum, Halbleiterfertigung, Pharmaindustrie, OEM |
Zwei ULPA-Filter mit identischen Abmessungen und derselben Filterklasse können dennoch unterschiedliche Strömungswiderstände aufweisen.
Prüfungen sind bei ULPA-Anwendungen besonders wichtig, da die Partikelpenetration extrem gering ist.
Je nach Projekt können folgende Prüfungen und Nachweise erforderlich sein:
Camfil gibt an, jedes Megalam-Filterpaneel der HEPA- bzw. ULPA-Klasse einer Leckageprüfung zu unterziehen und dabei auch den Übergangsbereich zwischen Filtermedium und Rahmen mittels Scanprüfung zu kontrollieren. AAF hebt ebenfalls Einzelprüfungen und Scanprüfungen für seine ULPA-Produkte hervor.
Clean-Link kann die Prüfanforderungen auf Grundlage der abgestimmten Filterkonstruktion und der Kundenspezifikation mit dem Kunden klären.
Es sollte nicht davon ausgegangen werden, dass für alle ULPA-Projekte derselbe Prüfumfang erforderlich ist.
In Spezifikationen für ULPA-Filter wird häufig auf ISO 29463 und EN 1822 verwiesen.
Diese Normen behandeln die Klassifizierung und Prüfung hocheffizienter Filter.
Bei der Beschaffung von U15-, U16- und U17-Filtern sollten Einkäufer folgende Angaben prüfen:
Diese Angaben sind aussagekräftiger als eine pauschale Aussage wie:
„99,999 % Abscheideeffizienz.“
Entscheidend sind die Prüfnorm und die Prüfbedingungen.
ULPA-Filter werden häufig in Reinräumen eingesetzt, die nach ISO 14644 klassifiziert sind.
Die Filterklasse allein bestimmt jedoch nicht die Reinraumklasse.
Die tatsächliche Leistungsfähigkeit eines Reinraums hängt außerdem von folgenden Faktoren ab:
Daher gilt:
Ein U16- oder U17-Filter führt nicht automatisch dazu, dass ein Reinraum die ISO-Klasse 1 oder ISO-Klasse 2 erreicht.
Der Filter ist eine Komponente des gesamten Systems zur Kontaminationskontrolle im Reinraum.
Vor einer Angebotsanfrage sollten folgende Angaben geklärt werden:
ULPA-Filterklasse
U15, U16 oder U17.
Anwendung
Halbleiterfertigung, Pharmaindustrie, FFU, Reinraumdecke, Prozessgerät, Labor oder OEM-Geräte.
Abmessungen
Tatsächliche Länge × Breite × Tiefe.
Nennluftvolumenstrom
Luftvolumenstrom pro Filter.
Zielwert für den Druckverlust
Besonders wichtig für FFU- und Umluftsysteme.
Anforderungen an das Filtermedium
Glasfaser-, Membran- oder projektspezifische Filtermedien.
Rahmen
Aluminium oder eine andere spezifizierte Ausführung.
Dichtungsart
Dichtung, Gelabdichtung oder eine gehäusespezifische Ausführung.
Schutzgitter
Anströmseitig, abströmseitig, beidseitig oder ohne Schutzgitter.
Prüfanforderungen
Abscheidegradprüfung, Scanprüfung, Leckageprüfung, Einzelprüfbericht oder andere Dokumentation.
Betriebsumgebung
Temperatur, Luftfeuchtigkeit, chemische Belastung, AMC sowie mögliche Anforderungen an das Ausgasungsverhalten.
Stückzahl
Voraussichtliche Stückzahl für das Erstprojekt und möglicher Wiederholbedarf.
Für ein neues Projekt senden Sie bitte:
Filterklasse + Abmessungen + Luftvolumenstrom + Druckverlust + Dichtungsart + Anwendung
Für einen Ersatzfilter senden Sie bitte:
Foto des vorhandenen Filters + Filteretikett + tatsächliche Abmessungen + Foto des Filtergehäuses
Bei einem FFU-Projekt ergänzen Sie bitte:
FFU-Abmessungen + Luftvolumenstrom des FFU-Ventilators + verfügbarer statischer Druck
Bei Halbleiterprojekten sollten Sie außerdem angeben, ob besondere Anforderungen in folgenden Bereichen bestehen:
Clean-Link unterstützt ULPA-Filtrationsprojekte für:
Unser Leistungsangebot kann Folgendes umfassen:
Ziel ist es, die ULPA-Filterklasse auf das tatsächliche Reinraumsystem, den Luftvolumenstrom, den Druckverlust, das Filtergehäuse und die Anforderungen an die Kontaminationskontrolle abzustimmen – statt lediglich die höchstmögliche Abscheideeffizienz anzubieten.
Benötigen Sie ULPA-Filtration für einen Reinraum, eine Halbleiterfertigungsanlage, eine pharmazeutische Anlage, eine FFU, ein Filtergehäuse für die Endfiltration oder ein OEM-Projekt?
Senden Sie Clean-Link folgende Angaben:
ULPA-Filterklasse + Filterabmessungen + Luftvolumenstrom + Druckverlust + Dichtungsart + Anwendung
Bei Ersatzfiltern ergänzen Sie bitte:
Foto des vorhandenen Filters + Filteretikett + Foto des Filtergehäuses
Bei komplexen Projekten sind auch Zeichnungen und Angaben zu den Prüfanforderungen hilfreich.
Ein ULPA-Filter ist ein Partikelfilter mit extrem hohem Abscheidegrad, der in Anwendungen eingesetzt wird, die eine höhere Filtrationsleistung als herkömmliche HEPA-Filter erfordern. Zu den gängigen ULPA-Filterklassen gehören U15, U16 und U17.
Die Klassen stehen für zunehmend höhere Mindestanforderungen an den Abscheidegrad bei MPPS. Nach EN 1822 beträgt der Gesamtabscheidegrad bei U15 mindestens 99,9995 %, bei U16 mindestens 99,99995 % und bei U17 mindestens 99,999995 %.
MPPS steht für Most Penetrating Particle Size. Damit ist die Partikelgröße gemeint, bei der ein Filter unter den jeweiligen Prüfbedingungen seinen geringsten Abscheidegrad aufweist.
ULPA-Filter bieten einen höheren Abscheidegrad, sind jedoch nicht automatisch für jede Anwendung die bessere Wahl. Auch Luftvolumenstrom, Druckverlust, Ventilatorleistung, Anforderungen an die Kontaminationskontrolle und die jeweilige Projektspezifikation müssen berücksichtigt werden.
Ja. ULPA-Filter werden häufig in Reinräumen der Halbleiterfertigung mit besonders hohen Reinheitsanforderungen, FFU-Deckensystemen und Prozessgeräten eingesetzt, in denen extrem niedrige Partikelkonzentrationen erforderlich sind. Sowohl Camfil als auch AAF bieten ULPA-Produkte speziell für die Halbleiterfertigung an.
Ja. ULPA-Filter werden häufig in Fan Filter Units integriert. Der Druckverlust des Filters muss mit der Ventilatorleistung der FFU und dem erforderlichen Luftvolumenstrom kompatibel sein.
Clean-Link kann kundenspezifische Abmessungen und projektspezifische Anforderungen an ULPA-Filter berücksichtigen. Die Möglichkeiten hängen von den Vorgaben zu Filtermedium, Luftvolumenstrom, Druckverlust, Dichtungsart und Prüfanforderungen ab.
ULPA-Filter können je nach Gehäusekonstruktion mit Dichtungen oder Gelabdichtungen ausgestattet werden. Die Dichtungsart muss mit dem jeweiligen Einbausystem kompatibel sein.
Nein. Die Leistungsfähigkeit eines Reinraums hängt vom gesamten Luftführungs- und Kontaminationskontrollsystem ab, nicht allein von der Filterklasse.
ULPA-Filter erreichen extrem hohe Abscheidegrade. Ihr Strömungswiderstand beeinflusst den Luftvolumenstrom, die erforderliche Ventilatorleistung und den Betrieb der FFU. Deshalb sollte der Druckverlust zusammen mit dem Abscheidegrad bewertet werden.
Bei vielen kritischen Anwendungen sind Einzelprüfungen durch Scan- oder Leckageprüfungen vorgesehen. Der genaue Prüfumfang richtet sich nach der jeweiligen Projektspezifikation.
Als Grundlage dienen die ULPA-Filterklasse, die Abmessungen, der Luftvolumenstrom, der Druckverlust, die Rahmenausführung, die Dichtungsart, die Anwendung, die Stückzahl und die Prüfanforderungen.
