Techniker bei der Montage einer Fan-Filter-Unit (FFU) im Deckensystem eines Reinraums.

Clean-Link fertigt und liefert Fan-Filter-Units (FFUs) für Reinräume, Halbleiterfertigungsanlagen, die Elektronikfertigung, pharmazeutische Produktionsumgebungen, Labore, kontrollierte Produktionsbereiche und OEM-Reinluftsysteme.

Eine FFU vereint einen Ventilator, einen hocheffizienten Filter, ein Gehäuse und Steuerungskomponenten in einem kompakten Filtermodul für den Deckeneinbau oder die endständige Luftfiltration. Bei der Auswahl der passenden FFU kommt es auf mehr als nur die Außenabmessungen an. Entscheidend sind auch Volumenstrom, Filterklasse, Druckverlust, Motortyp, Geräuschpegel, Kompatibilität mit dem Deckenraster, Stromversorgung, Art des Filterwechsels und Steuerungsanforderungen.

Clean-Link unterstützt FFU-Projekte mit HEPA- und ULPA-Filtration, projektspezifischen Abmessungen, unterschiedlichen Gehäuseausführungen, abgestimmten Volumenströmen, variabler Drehzahlregelung sowie OEM- und Projektlieferungen.

Planen Sie ein FFU-Projekt?

Beginnen Sie mit folgenden Angaben:

Abmessungen + Volumenstrom + Filterklasse + Stromversorgung + Steuerungsanforderungen + Stückzahl

Fan-Filter-Units für Reinräume

HEPA-Fan-Filter-Units

HEPA-FFUs kombinieren einen integrierten Ventilator mit einem hocheffizienten Filter und führen gefilterte Zuluft direkt in eine kontrollierte Umgebung.

Typische Projektanforderungen sind beispielsweise:

  • HEPA-Filter der Klasse H13
  • HEPA-Filter der Klasse H14
  • Mini-Pleat-Bauweise
  • Filter mit Aluminiumrahmen
  • Ausführung mit Dichtungs- oder Gelabdichtung
  • Kundenspezifischer Volumenstrom
  • Betrieb mit variabler Drehzahl
  • Einbau in ein Deckenraster
  • Projektspezifische Steuerungsanforderungen

Die HEPA-Klassifizierung und die erforderlichen Prüfungen sollten anhand der jeweiligen Projektspezifikationen überprüft und bestätigt werden.

Die Norm ISO 29463-1:2024 bildet den internationalen Rahmen für die Klassifizierung und Leistungsbewertung hocheffizienter Filter.

ULPA-Fan-Filter-Units

Für Reinraum- und Halbleiteranwendungen mit besonders hohen Anforderungen können FFUs mit ULPA-Filtern ausgestattet werden.

Mögliche Anforderungen sind:

  • U15
  • U16
  • Projektspezifische Anforderungen an U17
  • ULPA-Filtermedien in Mini-Pleat-Bauweise
  • Große Filtermedienfläche
  • Anforderungen an einen geringen Strömungswiderstand
  • Integration in Reinraumdecken
  • Anforderungen an die Einzelprüfung der Filter

ULPA-Filter sollten nicht allein aufgrund ihrer höheren Filtereffizienz ausgewählt werden.

Entscheidend für die Auswahl sind:

  • Reinheitsanforderungen
  • Volumenstrom
  • Filterwiderstand
  • Leistungsfähigkeit des FFU-Ventilators
  • Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Empfindlichkeit des Produktionsprozesses
  • Prüfanforderungen

Weiterführende Seite: ULPA-Filter →

Kundenspezifische Fan-Filter-Units

Nicht für jedes Reinraumprojekt eignen sich FFUs mit Standardabmessungen oder in Standardausführung.

Clean-Link kann kundenspezifische FFU-Anforderungen anhand folgender Angaben prüfen:

  • Länge
  • Breite
  • Höhe
  • Erforderlicher Volumenstrom
  • Filterklasse
  • Filtertiefe
  • Gehäusematerial
  • Abmessungen des Deckenrasters
  • Elektrische Anforderungen
  • Motorkonfiguration
  • Art der Drehzahlregelung
  • Filterwechsel von oben oder von der Reinraumseite
  • Projektstückzahl
  • OEM-Anforderungen

Was ist eine Fan-Filter-Unit?

Eine Fan-Filter-Unit (FFU) ist ein eigenständiges Modul zur Luftfiltration, das in der Regel aus folgenden Komponenten besteht:

  • Ventilator oder Gebläse
  • HEPA- oder ULPA-Filter
  • Gehäuse
  • Lufteinlass
  • Filterbefestigungssystem
  • Drehzahl- oder Volumenstromregelung
  • Elektrischer Anschluss

FFUs werden häufig in modularen Reinraumdecken installiert, um gefilterte Zuluft direkt in den kontrollierten Bereich einzubringen.

Im Gegensatz zu einem passiven HEPA-Endfilter verfügt eine FFU über einen eigenen Ventilator.

Dadurch kann die FFU die Luft durch den integrierten hocheffizienten Filter fördern, ohne dabei vollständig auf die zentrale raumlufttechnische Anlage angewiesen zu sein.

Etablierte Hersteller von Reinraumtechnik wie Camfil, AAF, Terra Universal und Price Industries beschreiben FFUs als integrierte Ventilator-Filter-Module für Reinräume und andere Umgebungen mit hohen Anforderungen an die Luftreinheit.

Explosionsdarstellung einer Fan-Filter-Unit (FFU) mit Ventilator, Metallgehäuse, Faltenfilter und Dichtungsrahmen.

Warum werden Fan-Filter-Units in Reinräumen eingesetzt?

FFUs können die Luftführung im Reinraum flexibler gestalten, da Filtration und Ventilatorleistung über die Deckenfläche verteilt sind und die Luftversorgung nicht ausschließlich über ein zentrales Zuluftsystem erfolgen muss.

Je nach Auslegung können FFUs unter anderem folgende Anwendungen und Funktionen unterstützen:

  • Modulare Reinraumdecken
  • Dezentrale Reinluftzufuhr
  • Lokale Anpassung des Volumenstroms
  • HEPA-/ULPA-Endfiltration
  • Erweiterung von Reinräumen
  • Unterschiedliche Anteile der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Zonenbasierte Volumenstromregelung
  • Nachrüstung bestehender Reinräume

FFU-Systeme werden häufig in Reinräumen eingesetzt, da sich die Luftförderleistung auf zahlreiche einzelne Deckenmodule verteilen lässt.

Das ist besonders vorteilhaft, wenn sich die Reinheitsanforderungen zwischen einzelnen Bereichen unterscheiden oder der Reinraum später erweitert werden soll.

HEPA-FFU vs. ULPA-FFU

Eine der ersten Entscheidungen bei einem FFU-Projekt betrifft die Filterklasse der Endfiltration.

Anforderung HEPA-FFU ULPA-FFU
Typische Filterklassen H13 / H14 U15 / U16 / U17
Abscheideeffizienz Hohe Effizienz Ultrahohe Effizienz
Druckverlust Bei der Auslegung zu berücksichtigen Oft kritischer bei der Auslegung
Typische Anwendungen Pharmaindustrie, Labore, Reinräume, Elektronikfertigung Halbleiterfertigung mit besonders hohen Reinheitsanforderungen, besonders anspruchsvolle Mikroelektronikanwendungen
Abstimmung auf den Ventilator Erforderlich Besonders wichtig
Prüfanforderungen Projektabhängig Häufig höher

Die höchste Abscheideeffizienz ist nicht automatisch die beste Wahl.

Ein ULPA-Filter kann ein anderes Strömungswiderstandsverhalten aufweisen als ein HEPA-Filter. Deshalb müssen die Ventilatorauswahl und der verfügbare statische Druck gemeinsam betrachtet werden.

Bei der Auswahl eines FFU-Filters müssen Abscheideeffizienz, Volumenstrom und Druckverlust aufeinander abgestimmt sein – nicht allein die Abscheideeffizienz ist entscheidend.

HEPA-FFUs der Klassen H13 und H14

HEPA-Filter der Klassen H13 und H14 werden häufig in FFUs für Reinräume und kontrollierte Umgebungen eingesetzt.

Welche Filterklasse geeignet ist, hängt von verschiedenen Faktoren ab:

  • Reinraumanforderungen
  • Empfindlichkeit der Prozesse
  • Volumenstrom
  • Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Druckverlust
  • Leistungsfähigkeit des Ventilators
  • Anforderungen an die Filterintegrität
  • Für das Projekt geltende Normen

Die Filterklasse allein bestimmt nicht die Reinraumklasse.

Die Leistungsfähigkeit eines Reinraums hängt außerdem von folgenden Faktoren ab:

  • Luftwechselrate
  • Luftverteilung
  • Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Undichtigkeiten im Raum
  • Partikelerzeugung
  • Druckverhältnisse
  • Prozessanlagen und -geräte
  • Bewegungen und Tätigkeiten des Personals

Weiterführende Seiten:

HEPA-Filterhersteller →

Mini-Pleat-HEPA-Filter →

FFU-Optionen mit U15 / U16 / U17

ULPA-FFUs können für die Halbleiter- und Elektronikfertigung sowie für andere besonders empfindliche Prozesse spezifiziert werden.

Typische Anforderungen an ULPA-Filter können sein:

  • U15
  • U16
  • U17, sofern erforderlich
  • Abscheideeffizienz bezogen auf die MPPS (Most Penetrating Particle Size)
  • Einzelprüfung der Filter mittels Scanverfahren
  • Filtermedien mit geringer Ausgasung
  • Anforderungen an Membranfiltermedien
  • Große Filtermedienfläche
  • Projektspezifischer Zielwert für den Filterwiderstand

AAF bietet FFU-Systeme mit HEPA- und ULPA-Filtration sowie verschiedenen Steuerungsoptionen an. Auch Camfil bietet FFU-Konfigurationen mit HEPA- und ULPA-Filtern an.

Weiterführende Seite: ULPA-Filter →

Der Volumenstrom als zentrales FFU-Auslegungskriterium

Die Auswahl einer FFU sollte mit dem erforderlichen Volumenstrom beginnen.

Zu den wichtigen Angaben gehören:

  • Volumenstrom pro FFU
  • Raumfläche
  • Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Anzahl der FFUs
  • Filteranströmfläche
  • Anströmgeschwindigkeit
  • Erforderliche Luftwechselrate
  • Zuluftkonzept

Die erforderliche Anzahl an FFUs lässt sich nicht allein anhand der Reinraumgrundfläche bestimmen.

Bei der Reinraumplanung sollten außerdem folgende Faktoren berücksichtigt werden:

  • Raumhöhe
  • Wärmelast
  • Prozessanlagen und -geräte
  • Personal
  • Angestrebter Reinheitsgrad
  • Umluftkonzept
  • Deckenraster und FFU-Anordnung

Clean-Link kann projektspezifische Volumenstromanforderungen gemeinsam mit den FFU-Abmessungen und den Anforderungen an die Filtration prüfen.

Schnittschema einer Fan-Filter-Unit (FFU) mit Luftstrom durch Ventilator und Faltenfilter sowie Druckmessanzeige.

FFUs mit konstantem Volumenstrom oder variabler Drehzahl

Je nach Projektanforderungen kommen unterschiedliche Regelungsstrategien für FFUs infrage.

Drehzahlgeregelte FFUs

Durch die Drehzahlregelung lässt sich der Volumenstrom an die Anforderungen bei der Inbetriebnahme oder im laufenden Betrieb anpassen.

Mögliche Vorteile sind:

  • Einregulierung der Volumenströme
  • Zonenbezogene Anpassung
  • Flexibilität bei der Inbetriebnahme
  • Reduzierung des Volumenstroms in bestimmten Betriebsphasen
  • Einfachere Feinabstimmung des Systems

Konstantvolumenstromregelung

Einige moderne FFU-Ausführungen nutzen eine rückgekoppelte Regelung, um Änderungen des statischen Drucks oder der Filterbeladung auszugleichen und den eingestellten Volumenstrom konstant zu halten.

Terra Universal bietet FFUs mit Konstantvolumenstromregelung an, die ihre Förderleistung bei Veränderungen des Systemwiderstands automatisch anpassen, um den eingestellten Volumenstrom aufrechtzuerhalten.

Bei Clean-Link-Projekten sollten die Steuerungsanforderungen frühzeitig festgelegt werden, da die Konfiguration von Motor und Regler Auswirkungen auf die elektrische Auslegung und die Systemintegration hat.

EC- und AC-Motoren für FFUs

Die Wahl des Motors beeinflusst folgende Faktoren:

  • Stromverbrauch
  • Drehzahlregelung
  • Geräuschentwicklung
  • Steuerungskompatibilität
  • Systemeffizienz
  • Wartungskonzept

EC-Motoren

Elektronisch kommutierte Motoren (EC-Motoren) werden häufig in modernen Reinraum-FFUs eingesetzt, da sie einen energieeffizienten, drehzahlgeregelten Betrieb sowie eine zentrale Steuerung ermöglichen.

Camfil, AAF, Terra Universal und Price Industries setzen in ihrem FFU-Produktprogramm für Reinräume auf Ausführungen mit EC-Motoren.

AC-Motoren

Ausführungen mit AC-Motoren kommen je nach Projektanforderungen weiterhin infrage. Entscheidend sind unter anderem:

  • Bestehende elektrische Infrastruktur
  • Kostenvorgaben
  • Steuerungsarchitektur
  • Kompatibilität beim Austausch bestehender Geräte

Clean-Link kann die erforderliche Motorkonfiguration anhand der jeweiligen Projektanforderungen prüfen.

Die Entscheidung zwischen EC- und AC-Motoren sollte nicht allein vom Motortyp abhängen. Auch die erforderliche Steuerungsart und das Volumenstromkonzept müssen berücksichtigt werden.

Geräuschpegel

FFUs werden häufig direkt über Reinraumbereichen installiert, in denen sich Personal aufhält. Daher spielt auch die Geräuschentwicklung eine Rolle.

Der Geräuschpegel hängt von verschiedenen Faktoren ab:

  • Ventilatordrehzahl
  • Volumenstrom
  • Externer statischer Druck
  • Filterwiderstand
  • FFU-Abmessungen
  • Ventilatorkonstruktion
  • Deckeneinbau
  • Anzahl der in Betrieb befindlichen FFUs

Hersteller wie Camfil, Terra Universal und Price Industries heben eine geringe Geräuschentwicklung ausdrücklich als wichtiges Kriterium bei der FFU-Auslegung hervor.

Wenn für ein Projekt konkrete Anforderungen an den Geräuschpegel gelten, sollten die maßgeblichen Prüfbedingungen und der zulässige Schallpegel in der Angebotsanfrage angegeben werden.

Druckverlust und Leistungsfähigkeit des Ventilators

Der FFU-Ventilator muss den Strömungswiderstand des integrierten Filters überwinden.

Dieser Widerstand hängt von folgenden Faktoren ab:

  • HEPA-/ULPA-Klasse
  • Art des Filtermediums
  • Filtermedienfläche
  • Faltengeometrie
  • Filtertiefe
  • Volumenstrom
  • Filterbeladung

Mit zunehmender Partikelbeladung steigt der Filterwiderstand in der Regel an.

Deshalb sollten bei der Auswahl einer FFU beide Aspekte berücksichtigt werden:

  • Filterwiderstand im Neuzustand
  • Erwartete Entwicklung des Filterwiderstands während des Betriebs

Ein Ventilator, der nur für den Betrieb mit einem unbeladenen Filter ausgelegt ist, verfügt bei steigendem Filterwiderstand möglicherweise über geringere Betriebsreserven.

Die Leistungsfähigkeit einer FFU hängt davon ab, dass Ventilator und Filter als Gesamtsystem aufeinander abgestimmt sind.

FFU-Abmessungen und Kompatibilität mit Deckenrastern

FFUs werden häufig in modulare Deckenraster von Reinräumen integriert.

Bei der Projektplanung sind typischerweise folgende Aspekte zu berücksichtigen:

  • Modullänge und -breite
  • Bauhöhe der FFU
  • Öffnung im Deckenraster
  • Abmessungen der Filteranströmfläche
  • Wartungsfreiraum
  • Zugang zu elektrischen Anschlüssen
  • Zugang für den Filterwechsel
  • Ausführung des Luftverteilers oder Schutzgitters

AAF bietet FFUs in mehreren Standardformaten an, darunter 2 × 2, 2 × 3, 2 × 4, 3 × 4 und 4 × 4 Fuß. Auch kundenspezifische Abmessungen sind verfügbar.

Clean-Link kann sowohl Standardabmessungen als auch kundenspezifische Maßanforderungen anhand der Deckenkonstruktion und der geplanten FFU-Anordnung prüfen.

Für kundenspezifische Projekte benötigen wir folgende Angaben:

Deckenrasterzeichnung + Abmessungen der FFU-Einbauöffnung + erforderlicher Volumenstrom + Stückzahl

Gehäusematerialien für FFUs

Das Gehäusematerial einer FFU sollte auf die Reinraumumgebung und die jeweiligen Projektanforderungen abgestimmt sein.

Je nach Ausführung kommen folgende Materialien infrage:

  • Pulverbeschichteter Stahl
  • Verzinkter Stahl
  • Aluminium
  • Edelstahl

Die Materialauswahl hängt von verschiedenen Faktoren ab:

  • Reinraumanwendung
  • Korrosionsbelastung am Einsatzort
  • Reinigungsanforderungen
  • Gewicht
  • Deckenkonstruktion
  • Kosten
  • Pharmazeutische oder prozessbezogene Anforderungen

Bei ausgewählten FFUs von Camfil gehört ein Gehäuse aus verzinktem Stahl zur Standardausführung. Optional sind Ausführungen aus Edelstahl und Aluminium erhältlich. AAF nennt für seine EC-FFUs Aluminium und Edelstahl der Güte 304 als Gehäusematerialien.

Welche Gehäusematerialien bei Clean-Link verfügbar sind, muss für die jeweilige FFU-Ausführung geprüft und bestätigt werden.

Vergleich von FFUs mit EC- und AC-Motoren: Ventilatoraufbau, Steuerungskomponenten und Luftführung im Reinraum.

Filterwechsel von oben oder von der Reinraumseite

Der Wartungszugang ist ein wichtiger Faktor bei der Auswahl einer FFU.

Filterwechsel von oben

Der Filter oder die FFU wird von oberhalb der Reinraumdecke aus gewartet.

Diese Variante kann geeignet sein, wenn:

  • Ein Zugang zum Deckenplenum vorhanden ist
  • Das Wartungspersonal den Bereich oberhalb der Reinraumdecke erreichen kann
  • Eine Unterbrechung des Reinraumbetriebs akzeptabel ist

Filterwechsel von der Reinraumseite

Bei entsprechend ausgelegten FFUs lassen sich die Filter direkt vom Reinraum aus wechseln.

Diese Variante kann vorteilhaft sein, wenn:

  • Der Zugang zum Deckenplenum eingeschränkt ist
  • Große FFU-Anlagen mit zahlreichen Modulen installiert sind
  • Der Wartungszugang innerhalb des Reinraums liegen muss
  • Beim Filterwechsel aufwendige Zugriffe über die Reinraumdecke vermieden werden sollen

Camfil, AAF und Terra Universal bieten FFU-Ausführungen an, bei denen ein Filterwechsel oder Wartungszugang von der Reinraumseite aus möglich ist.

Die Art des Filterwechsels sollte bereits bei der FFU-Auswahl festgelegt werden, da sie die Ausführung des Gehäuses, des Filterrahmens und der Abdichtung beeinflusst.

FFUs mit Dichtungsprofil oder Gelabdichtung

Die Filterabdichtung einer FFU trägt dazu bei, Bypassströmungen zwischen Filter und Gehäuse zu reduzieren.

Abdichtung mit Dichtungsprofil

Bei Filtern mit Dichtungsprofil sorgt eine definierte Verpressung der Dichtung zwischen Filterrahmen und Gehäuse für die Abdichtung.

Wichtige Faktoren sind:

  • Position der Dichtung
  • Verpressung der Dichtung
  • Ebenheit des Gehäuses
  • Passgenauigkeit des Rahmens
  • Gleichbleibende Einbauqualität

Gelabdichtung

Einige FFUs, bei denen sich die Filter von der Reinraumseite aus wechseln lassen, verwenden Filter mit Gelabdichtung in Verbindung mit einem passenden Gehäuse mit Messerkante.

Terra Universal setzt beispielsweise bei ausgewählten FFUs mit Filterwechsel von der Reinraumseite gelgefüllte Dichtungsnuten ein.

Clean-Link kann die Anforderungen an die Filterabdichtung anhand der vorgesehenen Gehäuseausführung und der Art des Filterwechsels prüfen.

Weiterführende Seite: HEPA-Filter mit Gelabdichtung →

Einzelsteuerung von FFUs

In kleinen Reinräumen lässt sich die Drehzahl einzelner FFUs je nach Ausführung direkt vor Ort einstellen.

Mögliche Steuerungsvarianten sind:

  • Manuelle Drehzahleinstellung
  • Lokales Steuergerät
  • 0–10-V-Steuerung
  • Projektspezifische externe Steuerung

So kann das Fachpersonal bei der Inbetriebnahme den Volumenstrom jeder FFU einzeln anpassen.

Die Anforderungen an die Steuerungsschnittstellen sollten vor Produktionsbeginn geklärt und bestätigt werden.

Zentrale FFU-Steuerung

In großen Reinräumen können Dutzende, Hunderte oder sogar Tausende von FFUs installiert sein.

Eine zentrale Steuerung kann das Betriebspersonal bei folgenden Aufgaben unterstützen:

  • FFUs zonenweise ein- und ausschalten
  • Ventilatordrehzahlen anpassen
  • Volumenströme einregulieren
  • Den Betrieb überwachen
  • Das Druckkonzept des Reinraums unterstützen
  • Den Volumenstrom in bestimmten Betriebsmodi reduzieren
  • Den Betriebsstatus einzelner FFUs erkennen

Systeme anderer Hersteller zeigen unterschiedliche Steuerungsmöglichkeiten: Camfil unterstützt bei ausgewählten FFU-Systemen eine zentrale Steuerung sowie Schnittstellen wie Modbus, LON und 0–10 V. AAF bietet Steuerkonsolen für die zentrale Verwaltung von FFUs an. Price Industries ermöglicht bei ausgewählten FFUs eine Überwachung über BACnet.

Bei Clean-Link-Projekten sollte die gewünschte Steuerungsarchitektur bereits in der Angebotsanfrage angegeben werden.

FFUs für Reinräume in der Halbleiterfertigung

Die Halbleiterfertigung zählt zu den wichtigsten Anwendungsbereichen von FFUs.

Typische Einsatzbereiche sind:

  • Wafer-Fabs (Halbleiterfabriken)
  • Lithografiebereiche
  • Mikroelektronikfertigung
  • Mini-Environments
  • Inspektionsbereiche
  • Bereiche rund um Prozessanlagen
  • Kontrollierte Montagebereiche

Je nach Projekt können folgende Anforderungen bestehen:

  • Hoher Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • HEPA- oder ULPA-Filtration
  • Geringe Partikelpenetration
  • Stabile Luftströmung
  • Geringer Strömungswiderstand
  • Zentrale Steuerung
  • Materialien mit geringer Ausgasung
  • Reinheitsgerechte Verpackung
  • Projektspezifische Prüfungen

AAF und Camfil bieten FFUs für Reinraumanwendungen in der Mikroelektronik- und Halbleiterfertigung an.

FFUs für pharmazeutische Reinräume

FFUs können auch in Reinräumen der Pharmaindustrie und Biotechnologie eingesetzt werden.

Mögliche Einsatzbereiche sind:

  • Kontrollierte Produktionsräume
  • Pharmazeutische Herstellungsprozesse
  • Reinraumkorridore
  • Labore
  • Biotechnologische Einrichtungen
  • Kontrollierte Verpackungsbereiche
  • Modulare Reinräume

Bei der Projektplanung sind insbesondere folgende Aspekte zu berücksichtigen:

  • Filterklasse
  • Luftverteilung
  • Reinraumklassifizierung
  • Deckenlayout
  • Gehäusematerial
  • Reinigungsanforderungen
  • Prüfung der Filterintegrität
  • Wartungszugang

Die Auswahl zwischen HEPA- und ULPA-Filtern sollte sich nach den konkreten Reinraumspezifikationen richten.

Weiterführende Seite: Luftfiltration für pharmazeutische Reinräume →

FFUs für Labore

FFUs können in Laboren unter anderem in folgenden Bereichen eingesetzt werden:

  • Modulare Reinräume
  • Kontrollierte Arbeitsbereiche
  • Reinluftkabinen
  • Forschungsbereiche
  • Elektroniklabore
  • Pharmazeutische Labore
  • Präzisionsmontagebereiche

Allein der Einsatz von HEPA-Filtern bedeutet nicht, dass eine FFU ein biologisches Containment gewährleistet.

Bei Anwendungen mit biologischen Sicherheitsanforderungen sollten die gerätespezifischen Containment-Anforderungen gesondert geprüft werden.

FFUs für die Elektronikfertigung

Bei der Elektronikmontage kann eine kontrollierte Partikelbelastung dazu beitragen, die Produktqualität bei empfindlichen Fertigungsprozessen vor luftgetragenen Verunreinigungen zu schützen.

Mögliche Anwendungsbereiche sind:

  • Präzisionselektronik
  • Optische Produkte
  • Leiterplattenfertigung
  • Displays
  • Sensorfertigung
  • Batterieproduktion
  • Präzisionsmontage

FFUs können modulare Reinraumkonzepte unterstützen, bei denen gefilterte Zuluft kontrolliert und direkt über die Reinraumdecke zugeführt werden muss.

Reinraumklassifizierung und FFU-Deckenbelegung

Eine der häufigsten Fragen beim Kauf von FFUs lautet:

„Wie viele FFUs benötige ich für meinen Reinraum?“

Diese Frage lässt sich nicht allein anhand der Raumfläche beantworten.

Die erforderliche Anzahl an FFUs hängt von verschiedenen Faktoren ab:

  • Erforderliche Reinraumklasse
  • Raumabmessungen
  • Deckenhöhe
  • Volumenstrom pro FFU
  • Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Erforderliche Luftwechselrate
  • Wärmelast
  • Prozessanlagen und -geräte
  • Personal
  • Strömungsführung

Ein höherer Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche kann einen größeren Volumenstrom an gefilterter Luft ermöglichen. Eine fachgerechte Reinraumplanung erfordert jedoch weiterhin die Einregulierung der Volumenströme und eine entsprechende Inbetriebnahme.

FFUs sind nur ein Bestandteil des gesamten Reinraumsystems.

Vergleich der Luftströmung in zwei Fan-Filter-Units (FFUs) mit unterschiedlichem Filteraufbau und nach unten gerichteter Zuluft.

Herstellung kundenspezifischer Fan-Filter-Units

Clean-Link kann kundenspezifische FFU-Projekte unterstützen, wenn Standardmodule nicht zu den vorhandenen Anlagen oder zur Reinraumanordnung passen.

Mögliche projektspezifische Anpassungen umfassen:

  • Abmessungen
  • Bauhöhe der FFU
  • Filterklasse
  • Volumenstrom
  • Motorausführung
  • Drehzahlregelung
  • Gehäusematerial
  • Stromversorgung
  • Filterabdichtung
  • Zugang für den Filterwechsel
  • Anbindung an das Deckenraster
  • Externe Steuerung
  • Verpackung
  • OEM-Kennzeichnung

Die kundenspezifischen Spezifikationen sollten vor Produktionsbeginn geprüft werden.

OEM-Belieferung mit Fan-Filter-Units

Clean-Link kann OEM- und projektbezogene FFU-Lieferungen für folgende Kunden und Projekte unterstützen:

  • Reinraumbauunternehmen
  • Hersteller von Reinraumausrüstung
  • HLK-Fachunternehmen
  • Halbleiterprojekte
  • Projekte in der Pharmaindustrie
  • Lieferanten von Laborausrüstung
  • Distributoren
  • Ingenieur- und Projektunternehmen

OEM-Projekte können folgende Leistungen und Anforderungen umfassen:

  • Projektspezifische Abmessungen
  • Eigenmarkenkennzeichnung
  • Kundenspezifische Verpackung
  • Einheitliche Spezifikationen für Folgeaufträge
  • Projektbezogene Lieferung größerer Stückzahlen
  • Fertigung nach Zeichnung
  • Komponentenkonfiguration
  • Projektdokumentation

Die konkrete Mindestbestellmenge (MOQ), die Lieferzeit sowie die elektrischen Komponenten und die Steuerungskonfiguration sind für jedes Projekt gesondert zu prüfen und zu bestätigen.

FFU-Prüfung und Qualitätskontrolle

Die Leistungsfähigkeit einer FFU hängt nicht allein vom Filter ab.

Je nach Projektanforderungen können folgende Prüfungen und Kontrollen vorgesehen sein:

  • Maßprüfung
  • Sichtprüfung
  • Elektrische Prüfung
  • Funktionsprüfung des Ventilators
  • Volumenstromprüfung
  • Überprüfung der Drehzahlregelung
  • Überprüfung des Filterwiderstands
  • Prüfung von HEPA-/ULPA-Filtern
  • Anforderungen an Leckage- oder Scanprüfungen
  • Geräuschprüfung
  • Verpackungskontrolle

Die Norm ISO 29463-1:2024 bildet den Rahmen für die Klassifizierung, Leistungsbewertung, Prüfung und Kennzeichnung hocheffizienter Filter.

Der Prüfumfang sollte vor Produktionsbeginn vereinbart werden.

Clean-Link sollte eine Zertifizierung sämtlicher FFUs nach einer bestimmten Reinraum- oder HEPA-Norm nur dann angeben, wenn dies durch entsprechende produktbezogene Unterlagen und Prüfnachweise belegt ist.

Ersatzfilter für FFUs

FFU-Filter müssen im Laufe der Betriebszeit ausgetauscht werden. Bei der Auswahl passender Ersatzfilter sollten jedoch nicht nur die Abmessungen berücksichtigt werden.

Bei der Auswahl sollten folgende Angaben geprüft werden:

Spezifikation Was zu prüfen ist
Filterabmessungen Tatsächliche Länge × Breite × Tiefe
Filterklasse H13, H14, U15, U16 oder projektspezifische Anforderungen
Volumenstrom Nennvolumenstrom der FFU
Druckverlust Bestehender oder angestrebter Druckverlust
Filterrahmen Rahmenmaterial und Rahmentiefe
Abdichtung Dichtungsprofil oder Gelabdichtung
Zugang für den Filterwechsel Von oben oder von der Reinraumseite
Gehäuse FFU-Modell oder Abmessungen der Einbauöffnung
Prüfanforderungen Erforderliche Prüfungen oder Prüfberichte
Stückzahl Stückzahl für den geplanten Filteraustausch

Falls nicht alle Angaben vorliegen, reichen für eine erste Prüfung folgende Informationen aus:

FFU-Foto + Filterfoto + tatsächliche Abmessungen + Anwendung

Weiterführende Seite: Kundenspezifische HEPA-Filter →

So wählen Sie eine Fan-Filter-Unit aus

Stellen Sie vor einer Angebotsanfrage möglichst viele der folgenden Angaben bereit:

  1. Anwendungsbereich

    Halbleiterfertigung, Pharmaindustrie, Labor, Elektronikfertigung, Reinraum oder OEM.

  2. FFU-Abmessungen

    Länge × Breite × Höhe.

  3. Erforderlicher Volumenstrom

    Volumenstrom pro FFU.

  4. Filterklasse

    H13, H14, U15, U16 oder projektspezifische Anforderungen.

  5. Druckverlust des Filters

    Zielwert oder vorhandene Messdaten, sofern verfügbar.

  6. Motortyp

    EC, AC oder projektspezifische Anforderungen.

  7. Art der Steuerung

    Lokale Drehzahleinstellung, 0–10-V-Steuerung, zentrale Steuerung oder andere Verfahren.

  8. Stromversorgung

    Spannung, Phasenzahl und Frequenz.

  9. Gehäusematerial

    Stahl, Aluminium, Edelstahl oder ein anderes vorgegebenes Material.

  10. Art des Deckenrasters

    Abmessungen der Einbauöffnung und Einbauart.

  11. Art des Filterwechsels

    Von oben oder von der Reinraumseite.

  12. Geräuschanforderungen

    Maximal zulässiger Schallpegel, sofern vorgegeben.

  13. Prüfanforderungen

    Volumenstromprüfung, Scanprüfung des Filters, Leckageprüfung, Geräuschprüfung oder erforderliche Dokumentation.

  14. Stückzahl

    Prototypen, Projektstückzahl und wiederkehrender Bedarf.

Welche Angaben benötigt Clean-Link für ein FFU-Angebot?

Damit wir Ihre Anfrage möglichst schnell technisch prüfen können, senden Sie bitte folgende Angaben:

FFU-Abmessungen + Volumenstrom + Filterklasse + Stromversorgung + Art der Steuerung + Stückzahl

Bei Reinraumprojekten sind zusätzlich folgende Informationen hilfreich:

  • Abmessungen des Deckenrasters
  • Raumfläche
  • Erforderliche Reinraumklasse
  • FFU-Anordnung, sofern verfügbar
  • Erforderlicher Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche
  • Art des Filterwechsels

Für den Austausch einer vorhandenen FFU:

FFU-Foto + Modellbezeichnung oder Geräteetikett + Filterfoto + tatsächliche Abmessungen

Warum Clean-Link als Hersteller von Fan-Filter-Units?

Clean-Link unterstützt Luftfiltrations- und Reinraumprojekte, bei denen die Abstimmung von Ventilator, HEPA-/ULPA-Filter und Gehäuse auf die jeweiligen Projektanforderungen entscheidend ist.

Unsere Projektunterstützung kann folgende Bereiche umfassen:

  • HEPA-FFUs
  • ULPA-FFUs
  • Projektspezifikationen für die Filterklassen H13 und H14
  • Anforderungen an die Filterklassen U15, U16 und U17, sofern zutreffend
  • Hocheffizienzfilter in Mini-Pleat-Ausführung
  • Standardgrößen und kundenspezifische Abmessungen
  • Prüfung der Volumenstromanforderungen
  • Prüfung des Druckverlusts
  • Optionen für Gehäusematerialien
  • Abstimmung der Motor- und Steuerungskonfiguration
  • Filteroptionen mit Dichtungsprofil oder Gelabdichtung
  • Lieferungen für OEM-Projekte
  • Fertigung nach Zeichnung
  • Abgleich der Ersatzfilterspezifikationen
  • Prüfanforderungen, sofern zutreffend

Ziel ist es nicht, lediglich eine FFU mit den passenden Außenabmessungen bereitzustellen.

Die FFU sollte auf den Volumenstrom des Reinraums, den Filterwiderstand, das Deckensystem, die elektrischen Anforderungen, die Steuerungsarchitektur und das Wartungskonzept abgestimmt sein.

Angebot für Fan-Filter-Units anfordern

Benötigen Sie FFUs für einen Reinraum in der Halbleiterfertigung, eine pharmazeutische Einrichtung, ein Labor, ein Werk der Elektronikfertigung, einen modularen Reinraum oder ein OEM-Projekt?

Senden Sie Clean-Link folgende Angaben:

Abmessungen + Volumenstrom + HEPA-/ULPA-Filterklasse + Stromversorgung + Steuerungsanforderungen + Stückzahl

Falls verfügbar, fügen Sie bitte außerdem folgende Informationen bei:

  • Reinraumzeichnung
  • Abmessungen des Deckenrasters
  • Anforderungen an den Druckverlust
  • Gehäusematerial
  • Art des Filterwechsels
  • Prüfanforderungen

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

Was ist eine Fan-Filter-Unit?

Eine Fan-Filter-Unit (FFU) ist ein eigenständiges Reinluftmodul, das einen Ventilator oder ein Gebläse, einen Hocheffizienzfilter, ein Gehäuse und Steuerungskomponenten kombiniert. Es führt gefilterte Luft einem Reinraum oder einer kontrollierten Umgebung zu.

In FFUs werden üblicherweise HEPA- oder ULPA-Filter eingesetzt. Je nach Anwendung können HEPA-Filter der Klassen H13 oder H14 beziehungsweise ULPA-Filter der Klassen U15 oder U16 vorgesehen sein.

Clean-Link kann kundenspezifische FFU-Projekte mit projektspezifischen Abmessungen, Volumenströmen, Filterklassen, Gehäusekonfigurationen sowie Motor- und Steuerungsanforderungen unterstützen. Auch OEM-Lieferungen sind auf Grundlage abgestimmter Spezifikationen möglich.

Der wesentliche Unterschied liegt in der geforderten Abscheideeffizienz der Filter. ULPA-Filter bieten eine höhere Abscheideeffizienz, können jedoch mit anderen Druckverlusten verbunden sein. Deshalb muss die Leistungsfähigkeit des Ventilators entsprechend geprüft werden.

Ja. EC-Motoren werden in modernen FFUs häufig eingesetzt, da sie einen energieeffizienten Betrieb mit variabler Drehzahl ermöglichen. Die erforderliche Motorkonfiguration sollte auf die jeweiligen Projektanforderungen abgestimmt werden.

Ja. Bei größeren FFU-Installationen können die Ventilatordrehzahlen und einzelne Zonen zentral gesteuert werden. Die genaue Kommunikations- und Steuerungsarchitektur sollte vor Produktionsbeginn festgelegt werden.

Die benötigte FFU-Größe hängt vom Deckenraster, dem erforderlichen Volumenstrom, dem Reinraumlayout und der Anwendung ab. Standardisierte Deckenmodule sind weitverbreitet, je nach Projekt können jedoch auch kundenspezifische Abmessungen erforderlich sein.

Allein anhand der Raumfläche lässt sich keine feste FFU-Anzahl bestimmen. Entscheidend sind unter anderem die erforderliche Reinraumklasse, der Volumenstrom pro FFU, der Anteil der mit FFUs belegten Deckenfläche, die Raumhöhe, die Wärmelast und die Prozessanforderungen.

Bei manchen FFU-Ausführungen ist ein Filterwechsel von der Reinraumseite möglich. Andere Ausführungen werden von oben über der Reinraumdecke gewartet. Die Art des Filterwechsels sollte bereits bei der Planung festgelegt werden.

Bei einem Filter mit Dichtungsprofil entsteht die Abdichtung durch das Verpressen der Dichtung gegen das Gehäuse. Bei einer Gelabdichtung greift eine passende Messerkante in eine gelgefüllte Dichtungsnut ein. Das FFU-Gehäuse muss für die jeweilige Abdichtungsart ausgelegt sein.

Ja. Je nach Projektspezifikation können in anspruchsvollen Reinraumanwendungen ULPA-Filter der Klassen U15 oder U16 sowie bei entsprechenden Projektanforderungen auch U17 vorgesehen sein.

Für eine erste Angebotsprüfung sollten Sie die Abmessungen, den erforderlichen Volumenstrom, die Filterklasse, die Stromversorgung, die Art der Steuerung, das Gehäusematerial, die Stückzahl und den Anwendungsbereich angeben. Reinraum- beziehungsweise Deckenzeichnungen und Prüfanforderungen sind ebenfalls hilfreich.

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